二氯硅烷
外观
二氯硅烷 | |||
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IUPAC名 Dichlorosilane[1] | |||
别名 | 二氯甲硅烷 | ||
识别 | |||
缩写 | DCS | ||
CAS号 | 4109-96-0 | ||
PubChem | 61330 | ||
ChemSpider | 55266 | ||
SMILES |
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UN编号 | 2189 | ||
EINECS | 223-888-3 | ||
RTECS | VV3050000 | ||
MeSH | dichlorosilane | ||
性质 | |||
化学式 | SiH 2Cl 2 | ||
摩尔质量 | 101.007 g mol−1 g·mol⁻¹ | ||
外观 | 无色气体 | ||
密度 | 1.22 g cm−3 | ||
熔点 | −122 °C(151 K) | ||
沸点 | 8 °C(281.4 K) | ||
溶解性(水) | (反应) | ||
蒸气压 | 167.2 kPa (at 20 °C) | ||
热力学 | |||
ΔfHm⦵298K | −320.49 kJ mol−1 | ||
S⦵298K | 286.72 J K−1 mol−1 | ||
危险性 | |||
警示术语 | R:R12, R14, R26, R35 | ||
安全术语 | S:S26, S36/37/39, S45, S53, S60 | ||
欧盟分类 | F+ T+ | ||
GHS危险性符号 | |||
GHS提示词 | DANGER | ||
H-术语 | H220, H250, H280, H314, H330 | ||
P-术语 | P210, P261, P305+351+338, P310, P410+403 | ||
NFPA 704 | |||
爆炸极限 | 4.1–99% | ||
相关物质 | |||
相关化合物 | 氯硅烷 三氯硅烷 四氯化硅 | ||
相关化学品 | 二氯甲烷 | ||
若非注明,所有数据均出自标准状态(25 ℃,100 kPa)下。 |
二氯硅烷,缩写DCS,是一种无机化合物,化学式为H2SiCl2。
制备
[编辑]二氯硅烷可由硅烷和氯化氢按化学计量比在三氯化铝催化剂的存在下反应制备:[2]
它也可以利用三氯硅烷来制备:[3]
- 2 SiHCl3 ⇔ SiCl4 + SiH2Cl2
化学性质
[编辑]二氯硅烷遇水水解,产生多聚硅氧烷(-H2Si-O-)n;和氨反应氨解,产生(-H2SiNH-)n[2]。
用途
[编辑]二氯硅烷可以用来做微电子里的半导体硅层的起始物料,其优点是它在较低温度可以分解,并且有较高的硅晶体生长速率。[3]
安全风险
[编辑]二氯硅烷是一种化学性质活泼的气体,在空气中可以迅速水解并自燃。它的毒性也很大,利用它的任何实验都需要有保护性措施。[4]其安全风险还包括皮肤和眼睛的刺激与吸收。[5]
参考资料
[编辑]- ^ Nchem.403-comp13 - Compound Summary. PubChem Compound. USA: National Center for Biotechnology Information. Identifiers and Related Records. 27 March 2005 [30 November 2011].
- ^ 2.0 2.1 郝润蓉,方锡义,钮少冲. 《无机化学丛书》第三卷 碳 硅 锗 分族. 北京:科学出版社, 2011. P142. 2.3 卤代硅烷(SiHnX4-n). ISBN 978-7-03-030549-7
- ^ 3.0 3.1 Vorotyntsev, V., Mochalov, G., Kolotilova, M., Kinetics of Dichlorosilane Separation from a Mixture of Chlorosilanes by Distillation Using a Regular Packing, Theoretical Foundations of Chemical Engineering, 38(4), 355-359
- ^ Vorotyntsev, V., Mochalov, G., Kolotilova, Volkova, E., Gas-Chromatographic and Mass-Spectrometric Determination of Impurity Hydrocarbons in Organochlorine Compounds and Dichlorosilane, Journal of Analytical Chemistry, 61(9), 883-888.
- ^ Praxair Material Safety Data Sheet (2007)