重氮萘醌[编辑]
外观
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重氮萘醌 | |
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IUPAC名 2-Diazo-2H-naphthalen-1-one | |
别名 | 1,2-Naphthoquinone diazide |
识别 | |
CAS号 | 879-15-2 |
PubChem | 9815339 |
ChemSpider | 7991089 |
SMILES |
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InChI |
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InChIKey | URQUNWYOBNUYJQ-UHFFFAOYAU |
性质 | |
化学式 | C10H6N2O |
摩尔质量 | 170.17 g·mol−1 |
若非注明,所有数据均出自标准状态(25 ℃,100 kPa)下。 |
重氮萘醌(英语:diazonaphthoquinone)是萘醌的重氮衍生物。 一旦曝光,它将经历沃尔夫重排反应以形成烯酮。[1]在半导体行业中,各种重氮萘醌的衍生物可被用作光刻胶的感光剂。
在半导体制造的过程中,重氮萘醌的磺酸酯通常会用作光刻胶材料中的正性感光剂。[2][3]在这种应用中,重氮萘醌会与酚醛树脂混合,以作为溶解抑制剂。在曝光的过程中,部分光刻胶膜会暴露在光线下,而其他部分则不会。在未曝光的区域里,含有重氮萘醌的光刻胶膜仍然会不溶于水基显影液中。 而在曝光的区域里,重氮萘醌会形成烯酮,由此再与环境中的水形成可溶于碱的茚并羧酸。光刻胶膜中已曝光的区域因而可溶于碱性溶剂,从而将光刻胶层中的图形显现出来。
参考文献
[编辑]- ^ N. C. de Lucas; J. C. Netto-Ferreira; J. Andraos; J. C. Scaiano. Nucleophilicity toward Ketenes: Rate Constants for Addition of Amines to Aryl Ketenes in Acetonitrile Solution. J. Org. Chem. 2001, 66 (5): 5016–5021. PMID 11463250. doi:10.1021/jo005752q.
- ^ Chemical Information Review Document for Diazonaphthoquinone Derivatives Used in Photoresists (页面存档备份,存于互联网档案馆), National Toxicology Program, January 2006
- ^ Integrated Circuits: A Brief History. [2018-08-30]. (原始内容存档于2020-02-22).